質(zhì)量流量控制器采用全316L不銹鋼結構及密封的316L不銹鋼傳感器，可根據不同應用需求選擇相應的彈性密封材料， 如：FFKM、EPDM、Viton及Buna-n等。美國MCS耐腐蝕質(zhì)量流量控制器的層流壓差技術(shù)能以 驚人的速度測量氣體質(zhì)量流量，且具備一系列標準性能，如：200：1量程可調比、內置30種氣體可選、多功能數字顯示屏及有條件的終身質(zhì)保等。
更新時(shí)間：2024-06-11
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一、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品優(yōu)勢
操作簡(jiǎn)單
Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器操作極其簡(jiǎn)單，用戶(hù)可通過(guò)多功能數字顯示屏調節參數，無(wú)需連接電腦或其它任何復雜的編程軟件。
精確控制
Alicat 標準型質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，幾乎所有型號通過(guò)增加高精選配項可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性?xún)r(jià)比
Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器本身耗電極小，從而降低了系統運營(yíng)的成本，且相比于同類(lèi)產(chǎn)品，其壓損較低，降低壓損意味著(zhù)更多氣體進(jìn)入到系統中，而不是停留在測量&控制設備中。除質(zhì)量流量外，Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器還可同時(shí)測量體積流量、壓力和溫度，您無(wú)需另外采購和安裝其它設備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經(jīng)氣體總量，是監控整個(gè)應用過(guò)程及減少氣體浪費的有效的方法。
性能
MS/MCS系列質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器可測量與控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿(mǎn)量程的任何流量，除了RS-232數字信號輸出，還配有多種模擬信號輸出。MS系列質(zhì)量流量計亦有便攜式型號(MBS系列)，采用一塊普通9伏電池供電，即成為一款適用于腐蝕性氣體的二等標準流量校準設備。
反應靈敏
與相應標準型M/MC系列相同，MS/MCS系列質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器(防腐蝕型)其測量響應小于10毫秒、控制響應為100毫秒。
高重復性
Alicat 的技術(shù)使得質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器幾乎沒(méi)有可移動(dòng)部件，所有零件都被內置固定，腔體內不存在物理變化，從而具有較高的*性和重復性。所有Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器的重復性可達±0.2% F.S。
值得信賴(lài)
現有超過(guò)90000臺Alicat設備正被使用在不同領(lǐng)域中，質(zhì)量流量控制器主要應用于醫藥、半導體、燃料電池、如：科學(xué)研究、泄漏測試、環(huán)境監測、 真空鍍膜、半導體、汽車(chē)制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過(guò)程工藝氣體測量&控制等。所有Alicat 設備均具有NIST可溯源校準證書(shū)。
二、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器標準性能
三、性能參數
| 指標 | ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器 |
| 量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM |
| 精度 | ±0.8%讀數±0.2%滿(mǎn)量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿(mǎn)量程） |
| 重復性 | ±0.2% |
| 量程比 | 200:1 |
| 響應時(shí)間 | 100ms |
| 標準狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
| 溫度范圍 | -10～50 |
| 零點(diǎn)漂移 | 0.02％ |
| 量程漂移 | 0.02％ |
| 濕度范圍 | 0-100% |
| 測量流量范圍 | 128％（過(guò)流率） |
| 大耐壓 | 145psi |
| 輸出信號（數字） | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
| 數字信號可選 | RS485，Modbus，Profibus |
| 輸出信號（模擬） | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
| 模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
| 電氣連接 | 8針/9針/15針（根據不同類(lèi)型流量計而定） |
| 供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC） |
| 供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A）
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