Linetech質(zhì)量流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關(guān)設備、生物反應器、生物過(guò)程控制器、大學(xué)實(shí)驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫療設備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。
更新時(shí)間：2024-06-10
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Linetech質(zhì)量流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關(guān)設備、生物反應器、生物過(guò)程控制器、大學(xué)實(shí)驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫療設備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。
Linetech質(zhì)量流量計主要參數：
流量范圍： 0.005-1000(slpm)
響應時(shí)間： ≤2
精 度： ≤1%或0.2%
重 復 性： ±0.25
輸出信號： 0-5vdc或4-20mA
供電電壓： 15-28vdc
溫度范圍： 0-50℃
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