氣體質(zhì)量流量控制器能夠在較大的量程范圍內(nèi)對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。氣體質(zhì)量流量計(jì)能夠在較大的量程范圍內(nèi)對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。氣體質(zhì)量流量控制器是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置，氣體質(zhì)量流量計(jì)是不具有控制氣體質(zhì)量流量功能的裝置。

　　氣體質(zhì)量流量控制器在石化工業(yè)、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。氣體質(zhì)量流量控制器其典型的場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如、氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。氣體質(zhì)量流量控制器的原理和應(yīng)用質(zhì)量流量控制器用于對(duì)各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制，并廣泛用于石油化工、冶金、制藥等行業(yè)。

　　氣體質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、響應(yīng)速度快、重復(fù)性好、穩(wěn)定性佳、軟啟動(dòng)、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(氣體質(zhì)量流量控制器可以在高壓或真空條件下工作)，氣體質(zhì)量流量控制器其操作使用方便，可任意位置安裝調(diào)試，并更好的與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。