Porter質量流量控制器被設計用于要求對小流量液體進行快速、控制的領域。Porter質量流量控制器簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。Porter質量流量控制器*的熱式測量系統(tǒng)提供的測量，同時液體溫度上升小于5度。的控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可提供對小流量液體 進行 快速、穩(wěn)定的控制。P2000i系列同時也包括有一個液體質量流量計，用于那些不需要進行流量控制的場合。

　　Porter質量流量控制器被設計用于要求對液體快速、控制的半導體制造工藝。數(shù)字控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可讓響應時間小于1秒。潔凈空間內(nèi)的裝配工藝和全金屬密封結構確保（高純度和泄漏完整性）。*的層流旁路和傳感器部件提供的測量，同時液體溫度僅上升5度，此外，Porter質量流量控制器的簡單化系統(tǒng)集成使它具有緊湊的包裝尺寸。

　　Porter質量流量控制器設計特點

　　· 熱式原理

　　· 一體化設計

　　· 滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM

　　· 響應時間不超過 2 秒鐘

　　· 操作壓力可達 20MPa

　　· 對安裝位置不敏感

　　· 316SS 材質，允許測量腐蝕性氣體

　　· 無直管段安裝要求

　　· 單電源供電

　　Porter質量流量控制器參數(shù)：

　　? 流量范圍從0-5sccm到0-1000slpm(氮氣)

　　? 設定點的響應時間不超過1sec

　　? 控制精度可達實際流量的1%

　　?I/O(輸入&輸出)可選模擬和數(shù)字信號

　　? 可實現(xiàn)本地/遠程設置/顯示

　　Porter質量流量控制器是用來對各種氣體的質量流量進行進行精密測量與控制的一種儀器。Porter質量流量控制器通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。Porter質量流量控制器的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。Porter質量流量控制器用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。Porter質量流量控制器并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。Porter質量流量控制器特點:精度高，重復性好。