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氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)介紹
更新時(shí)間:2018-01-10   點(diǎn)擊次數(shù):1502次
   氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)介紹
  氣體質(zhì)量流量控制器可廣泛地應(yīng)用于石油化工、半導(dǎo)體和集成電路、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科學(xué)研究和生產(chǎn)中,氣體質(zhì)量流量控制器其典型應(yīng)用有:電子工藝設(shè)備,如氧化、CVD、擴(kuò)散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射,以及微反應(yīng)裝置、配氣和混氣系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器。
  氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么大家知道么?下面氣體質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)家給大家介紹下。
  (1)流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。
  對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言,很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì),壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差;對(duì)于氣體質(zhì)量流量控制器則一般可以忽略不計(jì)。
  (2)測(cè)量控制的自動(dòng)化
  氣體質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器而言,還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~+5V或4~20mA,數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口,氣體質(zhì)量流量控制器能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接,進(jìn)行自動(dòng)控制。
  (3)地定量控制流量
  氣體質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。
  (4)適用范圍寬
  有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa;氣體質(zhì)量流量控制器可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品小流量范圍可達(dá)0~5sccm,大流量范圍可達(dá)0~200slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿(mǎn)量程的0.1%,流量控制范圍是滿(mǎn)量程的2~100%(量程比為--50:1),因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
  對(duì)于氣體質(zhì)量流量控制器大家可以在網(wǎng)絡(luò)上面去查詢(xún)一下,在上面也會(huì)有很多的介紹,因?yàn)橛辛诉@樣的介紹之后,我們才會(huì)明白他到底該怎樣做,才是對(duì)大家好的一種肯定,而且了解之后就會(huì)更好的明白,氣體質(zhì)量流量控制器給大家?guī)?lái)的不同,因?yàn)獒槍?duì)這些也是可以讓人們更好地去了解,他說(shuō)給我們帶來(lái)的這種幫助,了解之后我們也就會(huì)更好的去明白,到底哪些才是對(duì)人們好的一種肯定,該怎樣去選擇。
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