流量控制器由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成，它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，其原理是采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

 

　　不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置，是一個可以手動設(shè)定或與計算機(jī)連接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。

 

　　流量控制器主要的優(yōu)點：

 

　　1、直接測量氣體的質(zhì)量流量熱式質(zhì)量流量計直接測量流體質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號，無需其他設(shè)備，如溫度測試儀和壓力表，也無需進(jìn)行換算。

 

　　2、無可移動部分本身無類似轉(zhuǎn)軸等的移動部件，增加了本身的可靠性，無需機(jī)械維護(hù)。

 

　　3、可以準(zhǔn)確的測量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。

 

　　4、測量控制的自動化。

 

　　5、控制器可以準(zhǔn)確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制等。

 

　　6、準(zhǔn)確度高，重復(fù)性好準(zhǔn)確度可達(dá)＋－1％F.S（fullscale）重復(fù)性為＋－0.25％F。S（fullscale）。

 

　　7、體積小巧，安裝方便，操作簡單。

 

　　8、技術(shù)先進(jìn)，符合發(fā)展潮流。