質(zhì)量流量控制器,其原理如下:
“在直徑較細的感應管中放置兩對加熱器,并將其控制在同一溫度。當流體流動(dòng)時(shí),氣體將上游的部分熱量帶給下游,而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí),利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理,來(lái)測定流量。”(附:qm=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測量管繞組(即加熱系統)與周?chē)h(huán)境熱交換系統之間的熱傳導系數; K -------儀表常數)
想像一下……放置兩臺電熱器,用一條線(xiàn)將兩臺電熱器連接起來(lái),自己坐在線(xiàn)的中點(diǎn)處交叉的直角線(xiàn)上,很暖和。兩臺電熱器發(fā)散同樣的熱量,你坐在離兩臺電熱器同等距離的正中間位置,接受雙方的熱量,是溫度高的地方。在這個(gè)炎熱的季節,說(shuō)這樣的話(huà),真是熱得無(wú)法忍受啊…… 這時(shí),在側面加一個(gè)電風(fēng)扇,離電風(fēng)扇近的一方發(fā)散出來(lái)的熱,被吹到遠一點(diǎn)的電熱器,你坐的地方也會(huì )覺(jué)得稍微涼一些。風(fēng)扇吹得越快就越?jīng)隹臁?這和熱式感應管中的道理一樣,風(fēng)扇的強度(風(fēng)量)=氣體的流量。反過(guò)來(lái),要想檢測流量的話(huà),可以說(shuō)“測量一下氣體流過(guò)的時(shí)候兩臺電熱器之間移動(dòng)的熱量即可”
1. 鍋爐、裂解爐用燃料氣質(zhì)量流量測量控制;
2. 石油化工、采油、火炬氣質(zhì)量流量測量;
3. 燃燒爐用空氣質(zhì)量流量測量控制;燃汽輪機氫氣質(zhì)量流量和控制;
4. 食品加工及飲料氣體質(zhì)量流量和控制;
5. 水廠(chǎng)cl2質(zhì)量流量控制;
6. 生產(chǎn)半導體時(shí)高純度氣體質(zhì)量流量測量;
7. 催化劑、化學(xué)添加劑質(zhì)量流量測量;
8. 泵的保護控制、泵密封、潤滑油池泄漏檢測;
9. 空調系統控制;
10. 儀表用空氣、工藝空氣、氮氣等質(zhì)量流量測量。
11. 氣體分析儀,大氣采樣器
12. 泄露監測
13. 氣體分配系統
14. 實(shí)驗室氣體測量
15. 醫學(xué)應用
16. 燃料電池
17. 應用氣體:Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等絕大多數氣體。
實(shí)際使用中發(fā)現,當輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數值與實(shí)際不符,其實(shí)原因很簡(jiǎn)單,因為在MFC行業(yè)中,有一種參數叫CF,即氣體轉換系數(下面簡(jiǎn)稱(chēng)CF)。而MFC行業(yè)中又把N2(氮氣)定義為標準氣體M。N2的C值為1.00,其他的氣體以氮氣為中心,分布在0.1到1.4左右。
CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Ar(氬)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02(氧氣)、H2(氫氣)、F2(氟)等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話(huà),簡(jiǎn)單的分析其比率,用各自的CF值計算即可。
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